Přednášky:
Mikroelektronické senzory, vymezení pojmů. Porovnání vlastností klasických senzorů a mikroelektronických senzorů.. Úloha technologie ve vývoji senzorů.Technologické postupy výroby mikroelektronických senzorů.
Planární technologie a její využití pro výrobu mikroelektronických senzorů. Mikromechanika. Mechanické opracování materiálu slučitelné s postupy výroby mikroelektronických prvků. Mikromechanické struktury a jejich využití při konstrukci mikroelektronických senzorů.
Mikroelektronické senzory mechanických signálu. Mikroelektronické snímače tlaku a akcelerometry.
Mikroelektronické senzory tepelných veličin. Polovodičové teplotní senzory. Mikroelektronické termobloky. Využití mikroelektronických senzorů tepelných veličin pro měření průtoku, vakua a IR záření.
Mikroelektronické senzory magnetických veličin.Integrované Hallovy sondy. Magnetoodporové senzory. Magnetodiody a magnetotranzistory. Mikroelektronické senzory využívající nábojově doménového jevu
Mikroelektronické senzory radiačních signálů. Detektory neionizujícího záření. Spektrální charakteristiky fotoelektrických snímačů a možnosti jejího ovlivnění. Fotoodporový a fotonapěťový efekt a jeho využití v konstrukci mikrolektronických senzorů. Lavinové fotodiody, diody PIN a jejich vlastnosti. Fotoelektronické snímače polohy -PSD.
Obrazové snímače. Obrazové snímače viditelného záření.
X-Y adresované snímače. CCD obrazové snímače s řádkovým přenosem. CCD obrazové snímače s obrazovým přenosem.
Mikroelektronické termovizní systémy. CCD termovizní systémy s pyroelektrickými detektory. CCD kvantové termovizní systémy.
Detektory ionizujícího záření.Křemíkové a germaniové detektory. Přechodové a povrchové barierové detektory.Anulární polohově citlivé detektory. Transmisní detektory. Mikropáskové detektory a jejich využití pro měření pro měření vysoceenergetických částic.
Mikroelektronické senzory chemických veličin. Senzory typu ChemFET,IS FET. Chemoresistory. Chemické senzory využívající povrchové akustické vlny(SAW. Detektory vlhkosti.Integrované senzory kyslíku. Biosenzory.
Zpracování senzorových signálů. Multisenzorová pole. SMART senzory.
Aplikace mikroelektronických senzoru v průmyslové praxi (automobilní průmysl, robotika apod.).
Aplikace mikroelektronických senzorů v lékařství (měření mimo i uvnitř organismu).
Aplikace mikroelektronických senzorů při ochraně životního prostředí (monitorování ovzduší a odpadních vod).
Laboratoře:
Školení bezpečnosti práce v laboratoři, organizace laboratorních cvičení, rozdělení úloh.
Měření tlaků a deformací s využitím mikroelektronických senzorů
Integrované snímače teploty
Bezdotyková měření teploty s využitím integrovaných termobloků.
Mikroelektronický PSD snímač polohy
Obrazové snímače
Integrovaná Hallova sondy a její využití
Měření vibrací s využitím mikroakcelerometrů.
Magnetoresistory a jejich aplikace.
Měření statických a dynamických charakteristik snímačů viditelného záření
Měření složení plynných směsí s využitím polovodičových detektorů.
Konzultace k změřeným úlohám
Mikroelektronické senzory, vymezení pojmů. Porovnání vlastností klasických senzorů a mikroelektronických senzorů.. Úloha technologie ve vývoji senzorů.Technologické postupy výroby mikroelektronických senzorů.
Planární technologie a její využití pro výrobu mikroelektronických senzorů. Mikromechanika. Mechanické opracování materiálu slučitelné s postupy výroby mikroelektronických prvků. Mikromechanické struktury a jejich využití při konstrukci mikroelektronických senzorů.
Mikroelektronické senzory mechanických signálu. Mikroelektronické snímače tlaku a akcelerometry.
Mikroelektronické senzory tepelných veličin. Polovodičové teplotní senzory. Mikroelektronické termobloky. Využití mikroelektronických senzorů tepelných veličin pro měření průtoku, vakua a IR záření.
Mikroelektronické senzory magnetických veličin.Integrované Hallovy sondy. Magnetoodporové senzory. Magnetodiody a magnetotranzistory. Mikroelektronické senzory využívající nábojově doménového jevu
Mikroelektronické senzory radiačních signálů. Detektory neionizujícího záření. Spektrální charakteristiky fotoelektrických snímačů a možnosti jejího ovlivnění. Fotoodporový a fotonapěťový efekt a jeho využití v konstrukci mikrolektronických senzorů. Lavinové fotodiody, diody PIN a jejich vlastnosti. Fotoelektronické snímače polohy -PSD.
Obrazové snímače. Obrazové snímače viditelného záření.
X-Y adresované snímače. CCD obrazové snímače s řádkovým přenosem. CCD obrazové snímače s obrazovým přenosem.
Mikroelektronické termovizní systémy. CCD termovizní systémy s pyroelektrickými detektory. CCD kvantové termovizní systémy.
Detektory ionizujícího záření.Křemíkové a germaniové detektory. Přechodové a povrchové barierové detektory.Anulární polohově citlivé detektory. Transmisní detektory. Mikropáskové detektory a jejich využití pro měření pro měření vysoceenergetických částic.
Mikroelektronické senzory chemických veličin. Senzory typu ChemFET,IS FET. Chemoresistory. Chemické senzory využívající povrchové akustické vlny(SAW. Detektory vlhkosti.Integrované senzory kyslíku. Biosenzory.
Zpracování senzorových signálů. Multisenzorová pole. SMART senzory.
Aplikace mikroelektronických senzoru v průmyslové praxi (automobilní průmysl, robotika apod.).
Aplikace mikroelektronických senzorů v lékařství (měření mimo i uvnitř organismu).
Aplikace mikroelektronických senzorů při ochraně životního prostředí (monitorování ovzduší a odpadních vod).
Laboratoře:
Školení bezpečnosti práce v laboratoři, organizace laboratorních cvičení, rozdělení úloh.
Měření tlaků a deformací s využitím mikroelektronických senzorů
Integrované snímače teploty
Bezdotyková měření teploty s využitím integrovaných termobloků.
Mikroelektronický PSD snímač polohy
Obrazové snímače
Integrovaná Hallova sondy a její využití
Měření vibrací s využitím mikroakcelerometrů.
Magnetoresistory a jejich aplikace.
Měření statických a dynamických charakteristik snímačů viditelného záření
Měření složení plynných směsí s využitím polovodičových detektorů.
Konzultace k změřeným úlohám