Ukončeno v akademickém roce 2024/2025
Speciální mikroelektronické senzory
| Typ studia | doktorské |
|---|---|
| Jazyk výuky | angličtina |
| Kód | 450-6004/02 |
| Zkratka | SMES |
| Název předmětu česky | Speciální mikroelektronické senzory |
| Název předmětu anglicky | Special Microelectronic Sensors |
| Kreditů | 10 |
| Garantující katedra | Katedra kybernetiky a biomedicínského inženýrství |
| Garant předmětu | doc. Ing. Bohumil Horák, Ph.D. |
Osnova předmětu
Přednášky:
Senzor jako primární zdroj informace v měřicích a řídicích systémech.
Transformace signálů nesoucích informaci v senzorech. Generace senzorů, definice mikroelektronických senzorů. Postavení mikroelektronických senzorů v měřicích a řídicích systémech.
Technologické postupy výroby mikroelektronických senzorů. Pojem mikrotechnologie. Chemické a fyzikální metody vytváření tenkých vrstev. Dotační techniky - termická difuze a iontová implantace. Metody tvarování vrstev - litografické techniky, leptání vrstev. Planární technologie. Mikroobrábění.
Mikroelektronické senzory. Snímání mechanických veličin, termických veličin, radiačních veličin, magnetických veličin, chemických veličin.
Zpracování signálů z mikroelektronických senzorů. Konfigurace systému na zpracování signálů ze senzorů. Kompenzace parazitních vlivů, korekce nelinearit.
Inteligentní mikroelektronické senzory.
Komunikace mikroelektronických senzorů s okolím. Typy komunikace. Sběrnice.
Senzor jako primární zdroj informace v měřicích a řídicích systémech.
Transformace signálů nesoucích informaci v senzorech. Generace senzorů, definice mikroelektronických senzorů. Postavení mikroelektronických senzorů v měřicích a řídicích systémech.
Technologické postupy výroby mikroelektronických senzorů. Pojem mikrotechnologie. Chemické a fyzikální metody vytváření tenkých vrstev. Dotační techniky - termická difuze a iontová implantace. Metody tvarování vrstev - litografické techniky, leptání vrstev. Planární technologie. Mikroobrábění.
Mikroelektronické senzory. Snímání mechanických veličin, termických veličin, radiačních veličin, magnetických veličin, chemických veličin.
Zpracování signálů z mikroelektronických senzorů. Konfigurace systému na zpracování signálů ze senzorů. Kompenzace parazitních vlivů, korekce nelinearit.
Inteligentní mikroelektronické senzory.
Komunikace mikroelektronických senzorů s okolím. Typy komunikace. Sběrnice.
Povinná literatura
Doporučená literatura
FRADEN, Jacob. Handbook of modern sensors: physics, designs, and applications. 4th ed. New York: Springer, 2010, xv, 663 s. ISBN 978-1-4419-6465-6.
LURYI, Serge, Jimmy XU a Alex ZASLAVSKY. Future trends in microelectronics: from nanophotonics to sensors and energy. Hoboken, N.J.: John Wiley, 2010, 431 p. ISBN 0470551372 .
LURYI, Serge, Jimmy XU a Alex ZASLAVSKY. Future trends in microelectronics: from nanophotonics to sensors and energy. Hoboken, N.J.: John Wiley, 2010, 431 p. ISBN 0470551372 .