Přednášky:
Základní pojmy a terminologie.Fyzikální a matematický model snímače. Charakteristiky snímačů.Mikroelektronické senzory, jejich přednosti a nedostatky.
Mikroelektronické technologie. Metody vytváření tenkých vrstev. Metody dotování.Metody tvarování vrstev.Planární technika.
MS mechanických veličin.Polovodičové tenzometry a akcelerometry. Metody teplotní kompenzace a trimování. Metody návrhu MS mechanických veličin.
MS tepelných veličin.Polovodičové teploměry.Tepelné anemometry.Tepelná zpětná vazba v mikroelektronických strukturách a její využití při konstrukci MS.
MS záření .Detektory neionizujícího záření.Detektory ionizujícího záření. Polovodičové snímače obrazu.
MS chemických veličin.Polovodičové detektory plynů a par. Chemicky citlivé polovodičové součástky CHEMFET. Iontově selektivní součástky ISFET.
Zpracování senzorových signálů. Aplikace MS v průmyslové praxi. Aplikace MS v automobilovém průmyslu, lékařství, ochraně životního prostření.
Základní pojmy a terminologie.Fyzikální a matematický model snímače. Charakteristiky snímačů.Mikroelektronické senzory, jejich přednosti a nedostatky.
Mikroelektronické technologie. Metody vytváření tenkých vrstev. Metody dotování.Metody tvarování vrstev.Planární technika.
MS mechanických veličin.Polovodičové tenzometry a akcelerometry. Metody teplotní kompenzace a trimování. Metody návrhu MS mechanických veličin.
MS tepelných veličin.Polovodičové teploměry.Tepelné anemometry.Tepelná zpětná vazba v mikroelektronických strukturách a její využití při konstrukci MS.
MS záření .Detektory neionizujícího záření.Detektory ionizujícího záření. Polovodičové snímače obrazu.
MS chemických veličin.Polovodičové detektory plynů a par. Chemicky citlivé polovodičové součástky CHEMFET. Iontově selektivní součástky ISFET.
Zpracování senzorových signálů. Aplikace MS v průmyslové praxi. Aplikace MS v automobilovém průmyslu, lékařství, ochraně životního prostření.