Mikroelektronické senzory charakterizujeme jako senzory využívající jevy v
polovodičích a vrstvových strukturách zhotovené mikroelektronickými
technologiemi.Představují progresivní, ve světě dynamicky se rozvíjející
typy senzorů,označované jako senzory 2.generace.Tento druh senzoru je slučitelný
s integrovanými obvody jak z hlediska technologického,tak i obvodářského,což
umožnuje plně využít možnosti poskytované mikroelektronikou (vyšší
spolehlivost,nižší cena při menších rozměrech a hmotnosti,nová obvodová
řešení a netradiční aplikace).
Předmět je věnován oblastem
- principy funkce, vlastnosti a konstrukční řešení mikroelektronických
senzorů (MS)
- výrobní postupy využívané při výrobě MS.
- aplikace MS v průmyslu,lékařství a ochraně životního prostředí
literatura
Guldan A. : Mikroelektronické senzory, ALFA 1988
Janata J., Huber R.J. :Solid State Sensors,Academic Press,Inc.1985.
Middelhoek S., Audet S.: Silicon Sensors,Academic Press,Inc.1989.
Senzor technology and Devices,Boston,London, 1994,ISBN 0-89006-532-2
Randy F.:Understanding smart sensors,Boston,London,1996, ISBN 0-89006-824-0