MAY, G.S. Fundamentals of Semiconductor Fabrication. New York : Willey, 2007. 320 s. ISBN: 978-0-471-23279-7 .
HUSÁK, M. Mikrosenzory a mikroaktuátory. Praha : Academia, 2008. 544 s. ISBN: 978-80-200-1478-8
Terminated in academic year 2009/2010
Speciální mikroelektronické senzory
| Typ studia | doktorské |
|---|---|
| Jazyk výuky | čeština |
| Kód | 455-0923/01 |
| Zkratka | SMES |
| Název předmětu česky | Speciální mikroelektronické senzory |
| Název předmětu anglicky | Special Microelectronic Sensors |
| Kreditů | 0 |
| Garantující katedra | Katedra měřicí a řídicí techniky |
| Garant předmětu | prof. Ing. Petr Bilík, Ph.D. |
Subject syllabus
Přednášky:
Senzor jako primární zdroj informace v měřicích a řídicích systémech.
Transformace signálů nesoucích informaci v senzorech. Generace senzorů, definice mikroelektronických senzorů. Postavení mikroelektronických senzorů v měřicích a řídicích systémech.
Technologické postupy výroby mikroelektronických senzorů. Pojem mikrotechnologie. Chemické a fyzikální metody vytváření tenkých vrstev. Dotační techniky - termická difuze a iontová implantace. Metody tvarování vrstev - litografické techniky, leptání vrstev. Planární technologie. Mikroobrábění.
Mikroelektronické senzory. Snímání mechanických veličin, termických veličin, radiačních veličin, magnetických veličin, chemických veličin.
Zpracování signálů z mikroelektronických senzorů. Konfigurace systému na zpracování signálů ze senzorů. Kompenzace parazitních vlivů, korekce nelinearit.
Inteligentní mikroelektronické senzory.
Komunikace mikroelektronických senzorů s okolím. Typy komunikace. Sběrnice.
Senzor jako primární zdroj informace v měřicích a řídicích systémech.
Transformace signálů nesoucích informaci v senzorech. Generace senzorů, definice mikroelektronických senzorů. Postavení mikroelektronických senzorů v měřicích a řídicích systémech.
Technologické postupy výroby mikroelektronických senzorů. Pojem mikrotechnologie. Chemické a fyzikální metody vytváření tenkých vrstev. Dotační techniky - termická difuze a iontová implantace. Metody tvarování vrstev - litografické techniky, leptání vrstev. Planární technologie. Mikroobrábění.
Mikroelektronické senzory. Snímání mechanických veličin, termických veličin, radiačních veličin, magnetických veličin, chemických veličin.
Zpracování signálů z mikroelektronických senzorů. Konfigurace systému na zpracování signálů ze senzorů. Kompenzace parazitních vlivů, korekce nelinearit.
Inteligentní mikroelektronické senzory.
Komunikace mikroelektronických senzorů s okolím. Typy komunikace. Sběrnice.
Literature
Advised literature
SZE, S.M. Semiconductor Sensors. New York : Willey, 1994. 576 s. ISBN: 978-0-471-54609-2
RANDY F. Understanding smart sensors. Boston, London : Artech House, 1996. 400 s. ISBN 0-89006-824-0
RISTIC, L. Sensor technology and Devices. Boston, London : Artech House, 1994. 524 s. ISBN 0-89006-532-2
GULDAN, A. Mikroelektronické senzory. Bratislava : Alfa, 1987.
ZEHNULA, K. Čidla robotů. Praha : SNTL, 1990.
RANDY F. Understanding smart sensors. Boston, London : Artech House, 1996. 400 s. ISBN 0-89006-824-0
RISTIC, L. Sensor technology and Devices. Boston, London : Artech House, 1994. 524 s. ISBN 0-89006-532-2
GULDAN, A. Mikroelektronické senzory. Bratislava : Alfa, 1987.
ZEHNULA, K. Čidla robotů. Praha : SNTL, 1990.