Přednášky:
Senzor jako primární zdroj informace v měřicích a řídicích systémech.
Transformace signálů nesoucích informaci v senzorech. Generace senzorů, definice mikroelektronických senzorů. Postavení mikroelektronických senzorů v měřicích a řídicích systémech.
Technologické postupy výroby mikroelektronických senzorů. Pojem mikrotechnologie. Chemické a fyzikální metody vytváření tenkých vrstev. Dotační techniky - termická difuze a iontová implantace. Metody tvarování vrstev - litografické techniky, leptání vrstev. Planární technologie. Mikroobrábění.
Mikroelektronické senzory. Snímání mechanických veličin, termických veličin, radiačních veličin, magnetických veličin, chemických veličin.
Zpracování signálů z mikroelektronických senzorů. Konfigurace systému na zpracování signálů ze senzorů. Kompenzace parazitních vlivů, korekce nelinearit.
Inteligentní mikroelektronické senzory.
Komunikace mikroelektronických senzorů s okolím. Typy komunikace. Sběrnice.
Senzor jako primární zdroj informace v měřicích a řídicích systémech.
Transformace signálů nesoucích informaci v senzorech. Generace senzorů, definice mikroelektronických senzorů. Postavení mikroelektronických senzorů v měřicích a řídicích systémech.
Technologické postupy výroby mikroelektronických senzorů. Pojem mikrotechnologie. Chemické a fyzikální metody vytváření tenkých vrstev. Dotační techniky - termická difuze a iontová implantace. Metody tvarování vrstev - litografické techniky, leptání vrstev. Planární technologie. Mikroobrábění.
Mikroelektronické senzory. Snímání mechanických veličin, termických veličin, radiačních veličin, magnetických veličin, chemických veličin.
Zpracování signálů z mikroelektronických senzorů. Konfigurace systému na zpracování signálů ze senzorů. Kompenzace parazitních vlivů, korekce nelinearit.
Inteligentní mikroelektronické senzory.
Komunikace mikroelektronických senzorů s okolím. Typy komunikace. Sběrnice.