Speciální mikroelektronické senzory

Mikroelektronické senzory (MS) charakterizujeme jako senzory využívající jevy v polovodičích a vrstvových strukturách zhotovené mikroelektronickými technologiemi. Představují progresivní, ve světě dynamicky se rozvíjející typy senzorů, označované jako senzory vyšších generací. Tyto druhy senzorů jsou slučitelné s integrovanými obvody jak z hlediska technologického, tak i obvodového, což umožňuje plně využít možnosti poskytované mikroelektronikou (vyšší spolehlivost, nižší cena při menších rozměrech a hmotnosti, nová obvodová řešení a netradiční aplikace). Předmět je věnován oblastem základních principů, vlastnosti a konstrukce MS, výrobním postupům využívaným při výrobě MS, aplikacím MS v průmyslu, lékařství a ochraně životního prostředí. Důraz je kladen na zpracování signálů z MS a komunikaci MS s okolím.