Nanotechnologie I – tenké vrstvy

Typ studia	bakalářské
Jazyk výuky	angličtina
Kód	653-2042/02
Zkratka	Nano I
Název předmětu česky	Nanotechnologie I – tenké vrstvy
Název předmětu anglicky	Nanotechnology I – Thin Films
Kreditů	4
Garantující katedra	Katedra materiálového inženýrství a recyklace
Garant předmětu	doc. Dr. Mgr. Kamil Postava

Osnova předmětu

1. Uvedení tenkých vrstev jako jednodimezionálních nanostruktur
2. Vakuové systémy využívané pro přípravu tenkých vrstev, požadavky na snížený tlak, vakuová technika
3. Fyzikální metody přípravy tenkých vrstev, naprašování, napařování
4. Chemické metody přípravy tenkých vrstev, chemická depozice z par, elektrodepozice
5. Mechanismus růstu tenkých vrstev, růst samoorganizovaných nanostruktur, epitaxní růst
6. Přehled metod charakterizace tloušťky, složení a struktury tenké vrstvy
7. Optika tenkých vrstev, úvod do jevu interference v tenké vrstvě
8. Přehled aplikace optických tenkých vrstev, tenkovrstevné vrstvy, antireflexivní pokrytí, 1D fotonické krystaly
9. Elektrické vlastnosti tenkých vrstev, měření vodivosti
10. Aplikace tenkých vrstev v mikroelektronice, jevy na rozhraních
11. Základní představy o magnetických vlastnostech tenkých vrstev
12. Aplikace magnetických tenkých vrstev, magnetický záznam informace

Povinná literatura

OHRING, M., The material science of thin films, Academic Press, 1992.
MACLEOD, H. A.: Thin-film optical filters, 2nd ed. Bristol, 1986.
YEH, P.: Optical waves in layered media, Willey, New York 1988.
ECKERTOVÁ, L.: Fyzika tenkých vrstev, Populární přednášky o fyzice, sv. 21; KŘEPELKA, J.: Optika tenkých vrstev, UP Olomouc, 1993.

Doporučená literatura

LUTH, H., Solid surfaces, interfaces and thin films, Springer, Berlin 2001.
AZZAM, R. M. A., BASHARA, N. M.: Ellipsometry and polarized light, North-Holland, Amsterdam, 1977.

zpět na vyhledávání