HARIHARAN, P. Basics of holography. Cambridge: Cambridge University Press, 2002. ISBN 0-521-00200-1.
LEVINSON, Harry J. Principles of lithography. Fourth edition. Bellingham, Washington: SPIE Press, [2019]. ISBN 978-1-5106-2760-4 .
KOCH, C. and RINKE, T. J., PHOTOLITHOGRPAHY Basics of Microstructuring, 2nd Edition, MicroChemicals GmbH (2020).
MATĚJKA, František. Praktická elektronová litografie. Ústav přístrojové techniky AV ČR, 2013.