Materiály pro mikroelektroniku

Předmět je zaměřen na charakteristiku procesů přípravy jednotlivých typů mikro- a nanostrukturních materiálů a současnými technologiemi ve vztahu k mikroelektronice, používanými materiály a směry vývoje pro potřebu kvalifikovaného řešení problémů spojených s další miniaturizací elektronických systémů a prvků. Předmět se zabývá dále technologiemi přípravy fyzikálně a chemicky vysoce čistých materiálů, základními procesy a materiály soudobé technologie polovodičových materiálů a integrovaných obvodů s velmi vysokou integrací, vlivem geometrických rozměrů na vlastnosti pevných látek, mechanismy nerovnovážných procesů tvorby mikro- a nanostruktury, principy selektivity a postupů mikrotechnologických operací, syntézou, vytvářením mikro- a nanovrstev, zpracováním objemových materiálů, jejich charakterizací, vlastnostmi a aplikacemi v elektronice. Výklad teorie syntézy materiálů, molekulárního inženýrství, nano- a mikrotechnologií umožňuje vytvářet představy o technologiích příštích desetiletí.