Přeskočit na hlavní obsah
Přeskočit hlavičku

Optická spektroskopie a elipsometrie nanostruktur

Typ studia doktorské
Jazyk výuky čeština
Kód 653-0950/01
Zkratka OSEN
Název předmětu česky Optická spektroskopie a elipsometrie nanostruktur
Název předmětu anglicky Optical Spectroscopy and Ellipsometry of nanostructures
Kreditů 10
Garantující katedra Katedra materiálového inženýrství a recyklace
Garant předmětu doc. Dr. Mgr. Kamil Postava

Osnova předmětu

1. Fyzikální principy optické spektroskopie a elipsometrie
- elektronové přechody a původ optických spekter, modelování dielektrických funkcí materiálů, Kramers-Kronigovy disperzní relace
- spektrální zařízení (disperzní hranol, mřížka, Fabry-Perotův interferometr)
- vybrané partie optiky tenkých vrstev, metody efektivních prostředí a jejich využití v optické spektroskopii
2. Reflexní a transmisní spektroskopie ve viditelné, blízké ultrafialové a blízké infračervené oblasti
- komponenty spektrometrů, dvousvazkový spektrometr, materiály používané v optické spektroskopii, rozlišovací mez a přístrojová funkce monochromátoru
3. Spektroskopická elipsometrie
- metody elipsometrie, měření elipsometrických úhlů psi a delta, zobecněná elipsometrie a polarimetrie Muellerovy matice, typy elipsometrů, metody zpracování elipsometrických dat
4. Spektroskopie ve střední infračervené oblasti
- fyzikální původ infračervených absorpcí, charakteristická vibrační spektra
- princip spektrometru využívající Fourierovy transformace (FTIR), zpracování interferogramu, speciální metody infračervené spektroskopie – ATR, IRRAS, modelování absorpčních maxim, chemická analýza
5. Magnetooptická spektroskopie
- původ magnetooptických jevů, Kerrův, Faradayův a Voightův magnetooptický jev,
specifika magnetooptických elipsometrů
6. Moderní a doplňkové směry optické spektroskopie
- emisní spektroskopie, laserová spektroskopie, fotoluminiscenční a fluorescenční spektroskopie, Ramanova spektroskopie, spektroskopie s časovým rozlišením, spektrální měření na ultratenkých vrstvách, difrakce na periodických mřížkových systémech

Povinná literatura

S. Svanberg, Atomic and molecular spectroscopy: basic aspects and practical applications, Springer-Verlag, Berlin 1991
R. M. A. Azzam, N. M. Bashara, Ellipsometry and polarized light, North-Holland, Amsterdam 1977
H. Fujiwara, Spectroscopic Ellipsometry: Principles and Applications, John Wiley & Sons 2007
P. Griffiths, J. A. De Haseth, Fourier Transform Infrared Spectrometry (Chemical Analysis: A Series of Monographs on Analytical Chemistry and Its Applications), Wiley 2nd. Ed, 2007

Doporučená literatura

O. Stenzel, The physics of thin film optical spectra, Springer 2005
P.Y. You and M. Cardona, Fundamentals of semiconductors, 3rd Ed, Springer 2010
I. Ohlídal, D. Franta, Ellipsometry of thin film systems, In: Progress in Optics, Vol. 41, Ed. E. Wolf, 2000
H. Tompkins and E. Irene, Handbook of Ellipsometry, William Andrew 2005
D. S. Kliger, J. W. Lewis, C. E. Randall, Polarized light in optics and spectroscopy, Academic Press, New York 1990