Příprava a charakterizace nanostruktur

Typ studia	bakalářské
Jazyk výuky	čeština
Kód	653-2243/01
Zkratka	PCHN
Název předmětu česky	Příprava a charakterizace nanostruktur
Název předmětu anglicky	Příprava a charakterizace nanostruktur
Kreditů	5
Garantující katedra	Katedra materiálového inženýrství a recyklace
Garant předmětu	Ing. Zuzana Gelnárová, Ph.D.

Osnova předmětu

1. Principy příprav tenkých vrstev a nanostruktur, aplikace
2. Vakuové systémy, top-down a bottom-up příprava nanostruktur
3. Přípravy tenkých vrstev depozicí z fyzikálních par, Thortonův model
4. Křemík a jiné substráty
5. Vakuové napařování
6. Magnetronové naprašování (DC/RF)
7. Reaktivní magnetronové naprašování a MBE
9. Procesy přípravy materiálů depozicí z chemických par (CVD) a odvozené procesy
9.Úvod do optické litografie s přímým zápisem
10. Fotoresisty pro litografické procesy
11. Chemické procesy při expozici fotoresistu při zápisu a při procesu jeho vyvolání vývojkou
12. Litografie binárních struktur
13. Optická a strukturní charakterizace připravených struktur exponovaného fotoresistu

Povinná literatura

IKHMAYIES, Shadia Jamil (ed.). Advanced Nanomaterials. Springer Nature, 2022.
SLAVÍČEK, Pavel; ŠTĚPÁNOVÁ, Vlasta; KELAR, Jakub. Vakuová fyzika 1. 2016.
MATTOX, Donald M. Handbook of physical vapor deposition (PVD) processing. William Andrew, 2010.
HARIHARAN, P. Basics of holography. Cambridge: Cambridge University Press, 2002. ISBN 0-521-00200-1.
LEVINSON, Harry J. Principles of lithography. Fourth edition. Bellingham, Washington: SPIE Press, [2019]. .

Doporučená literatura

MWEMA, Fredrick Madaraka; JEN, Tien-Chien; ZHU, Lin. Thin film coatings: properties, deposition, and applications. CRC Press, 2022.

ABERLE, Armin G. Thin-film solar cells. Thin solid films, 2009, 517.17: 4706-4710.

SESHAN, Krishna; SCHEPIS, Dominic (ed.). Handbook of thin film deposition. William Andrew, 2018.

zpět na vyhledávání