Přeskočit na hlavní obsah
Přeskočit hlavičku

Příprava a charakterizace nanostruktur

Anotace

Náplní předmětu jsou vakuové systémy, principy přípravy tenkých vrstev magnetronovým naprašováním a depozicí z chemických par. Zabývá se rovněž přípravou nanostruktur pomoci laserové litografie s přímým zápisem.

Povinná literatura

IKHMAYIES, Shadia Jamil (ed.). Advanced Nanomaterials. Springer Nature, 2022.
SLAVÍČEK, Pavel; ŠTĚPÁNOVÁ, Vlasta; KELAR, Jakub. Vakuová fyzika 1. 2016.
MATTOX, Donald M. Handbook of physical vapor deposition (PVD) processing. William Andrew, 2010.
HARIHARAN, P. Basics of holography. Cambridge: Cambridge University Press, 2002. ISBN 0-521-00200-1.
LEVINSON, Harry J. Principles of lithography. Fourth edition. Bellingham, Washington: SPIE Press, [2019]. ISBN 978-1-5106-2760-4.

Doporučená literatura

MWEMA, Fredrick Madaraka; JEN, Tien-Chien; ZHU, Lin. Thin film coatings: properties, deposition, and applications. CRC Press, 2022.

ABERLE, Armin G. Thin-film solar cells. Thin solid films, 2009, 517.17: 4706-4710.

SESHAN, Krishna; SCHEPIS, Dominic (ed.). Handbook of thin film deposition. William Andrew, 2018.


Jazyk výuky čeština
Kód 653-2243
Zkratka PCHN
Název předmětu česky Příprava a charakterizace nanostruktur
Název předmětu anglicky Příprava a charakterizace nanostruktur
Garantující katedra Katedra materiálového inženýrství a recyklace
Garant předmětu Ing. Zuzana Gelnárová, Ph.D.