Pokročilé technologie přípravy nanostruktur I

Pokročilé technologie přípravy nanostruktur I
653-3158/01
čeština Pokročilé technologie přípravy nanostruktur I
653-3158/02
angličtina

Summary

Předmět objasňuje principy pokročilých technologií zaměřených na přípravu tenkých vrstev, povlaků, nanostruktur, integrovaných obvodů a optoelektroniky. Zahrnuje metody pro depozici z plynné, kapalné, i pevné fáze, jak za atmosferického tlaku, tak ve vakuu, s i bez použití plasmy, laserového záření, iontového leptání, elektronového děla, odporových odpařovacích zdrojů, naprašování, nebo leptání. Zaměřuje se především na vysvětlení fyzikálních principů těchto procesů a odpovídajících technologických a analytických zařízení a komponent (např. zdrojů svazků elektronů, iontů a neutrálních částic). Zároveň objasňuje nejpoužívanější metody pro charakterizaci připravovaných materiálů s důrazem na in-situ metody.

Literature

OHRING, M.: Materials Science of Thin Films. 2nd ed. San Diego: Academic Press, 2002, 794 s. .
OURA, K., LIFSHITS, V.G., SARANIN, A., ZOTOV, A.V., KATAYAMA, M.: Surface Science: An Introduction. New York: Springer, 2003, 440 s. ISBN 3540005455.
SLAVÍČEK, Pavel; ŠTĚPÁNOVÁ, Vlasta; KELAR, Jakub. Vakuová fyzika 1. 2016.

Doporučená literatura

KITTEL, C.: Introduction to Solid State Physics. 8th ed. Hoboken, NJ: Wiley, c2005. .

back to search page

Jazyk výuky	čeština, angličtina
Kód	653-3158
Zkratka	PTPI
Název předmětu česky	Pokročilé technologie přípravy nanostruktur I
Název předmětu anglicky	Pokročilé technologie přípravy nanostruktur I
Garantující katedra	Katedra materiálového inženýrství a recyklace
Garant předmětu	Ing. Zuzana Gelnárová, Ph.D.