Přeskočit na hlavní obsah
Přeskočit hlavičku

Pokročilé technologie přípravy nanostruktur I

Typ studia navazující magisterské
Jazyk výuky angličtina
Kód 653-3158/02
Zkratka PTPI
Název předmětu česky Pokročilé technologie přípravy nanostruktur I
Název předmětu anglicky Pokročilé technologie přípravy nanostruktur I
Kreditů 4
Garantující katedra Katedra materiálového inženýrství a recyklace
Garant předmětu Ing. Zuzana Gelnárová, Ph.D.

Osnova předmětu

1. Úvod do technologií přípravy, jejich rozdělení a využití ve výzkumu a průmyslu.
2. Principy růstu vrstev. Interakce částic s látkou (elektrony, ionty, neutrální částice).
3. Používané zdroje elektronů, iontů, atomů, molekul, plasmy, fotonů a jejich parametry. Prvky pro manipulaci a měření.
4. Fyzikální technologie pro přípravu nanostruktur (napařování, DC, RF, reaktivní, magnetronové a iontové naprašování, pulzní laserová depozice, napařování s přídavným iontovým svazkem).
5. Chemické a kombinované metody přípravy (typy užívaných reakcí, termální a organokovové CVD procesy, plazmou a laserově obohacené CVD, termodynamika procesů, přenos plynu v depozičních komorách, kinetika růstu vrstev).
6. Litografické procesy, dvoufotonová polymerizace, legování (iontová implantace) a plazmové leptání.
7. Nukleace na substrátu (kapilární teorie a atomistické modely). Módy růstu vrstev. Rekonstrukce, materiálová a elektronová struktura povrchů. Defekty při monokrystalickém růstu. Metody určené pro epitaxi (MBE, LPE, LEGO, MOVPE, ALE).
8. Analýza povrchů, tenkých vrstev a nanostruktur - přehled in-situ a ex-situ metod. Použití jednotlivých metod (STM, AFM, TEM, SEM AES, RBS, ISS, SIMS, XPS, LEED, RHEED, aj.).
9.Nové trendy v pokročilých materiálových technologiích.

Povinná literatura

OHRING, M.: Materials Science of Thin Films. 2nd ed. San Diego: Academic Press, 2002, 794 s. ISBN 0125249756 .
OURA, K., LIFSHITS, V.G., SARANIN, A., ZOTOV, A.V., KATAYAMA, M.: Surface Science: An Introduction. New York: Springer, 2003, 440 s. ISBN 3540005455.
SLAVÍČEK, Pavel; ŠTĚPÁNOVÁ, Vlasta; KELAR, Jakub. Vakuová fyzika 1. 2016.

Doporučená literatura

KITTEL, C.: Introduction to Solid State Physics. 8th ed. Hoboken, NJ: Wiley, c2005. ISBN 047141526x .