Náplní předmětu jsou metody přípravy tenkých vrstev magnetronovým naprašováním a depozicí z chemických par. Zabývá se rovněž metodami monitorování průběhu růstu vrstvy, metodami přípravy a charakterizace nanostruktur.
Literature
GURNETT, Donald A.; BHATTACHARJEE, Amitava. Introduction to plasma physics: With space, laboratory and astrophysical applications. Cambridge University Press, 2017.
SLAVÍČEK, Pavel; ŠTĚPÁNOVÁ, Vlasta; KELAR, Jakub. Vakuová fyzika 1. 2016.
NEE, Andrew Yeh Ching. Handbook of manufacturing engineering and technology. Springer Publishing Company, Incorporated, 2014.
Advised literature
GLEITER, Herbert. Nanostructured materials: basic concepts and microstructure. Acta materialia, 2000, 48.1: 1-29.
MADKOUR, Loutfy H. Nanoelectronic materials: fundamentals and applications. Springer, 2019.