Thin Films

Thin Films
9360-0500/01
čeština Thin Films
9360-0500/02
angličtina

Anotace

Předmět se zabývá fyzikálními vlastnostmi a aplikacemi tenkých vrstev. Pozornost je zaměřena na optické, elektrické a magnetické vlastnosti tenkých vrstev. Důraz je kladen na aplikační výstupy, např. antireflexní vrstvy, tenkovrstvé interferenční filtry, vrstvy využívané v polovodičovém průmyslu a informačních technologiích.

Povinná literatura

OHRING, M., The material science of thin films, Academic Press, 1992.
MACLEOD, H. A.: Thin-film optical filters, 2nd ed. Bristol, 1986;
YEH, P.: Optical waves in layered media, Willey, New York 1988;

Doporučená literatura

LUTH, H., Solid surfaces, interfaces and thin films, Springer, Berlin 2001.
AZZAM, R. M. A., BASHARA, N. M.: Ellipsometry and polarized light, North-Holland, Amsterdam, 1977;

zpět na vyhledávání

Language of instruction	čeština, angličtina
Code	9360-0500
Abbreviation	TV
Course title	Thin Films
Coordinating department	CNT - Nanotechnology Centre
Course coordinator	doc. Dr. Mgr. Kamil Postava